晶圓接觸角測量儀采用CCD數字攝像機,配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統,搭配三維樣品臺,可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結構工作臺,能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節,擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測試多次后的結果可以同時保存在同一報告下,能讓用戶對材料數據進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統適用于半導體晶圓工藝的質量控制。提供晶圓表面的快速并準確的接觸角/表面能分析,從而評估粘性,潔凈度及鍍膜。 采用輕量化的設計、組裝方便和的基于 Windows標準的用戶友好型軟件,以創建一個即準確容又容易使用的接觸角測量儀系統。 注射滴液機制可以抬起便于裝載,消除了對晶圓 (Wafers)可能產生的損壞。用于晶圓表面分析,同時也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應用。樣件可允許 300 X 300 X 19mm。
水滴角測量儀主機及測試視頻的操作視頻及圖片:
(1)主機使用高強度航空鋁合金結構搭配模塊化設計理念,集成芯片電路控制,保證儀器以狀態運行;
(2)成像部分使用高性能工業機芯及無失真遠心鏡頭確保的成像效果。
(3)工業級可調LED單波長冷光源系統,成像清晰
(4)自動位移平臺,實現Y、Z自動定位測量,定點地位更準確,測量效率更高
規格:
主機外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高) 主機凈重:55KG
工作臺面尺寸:420mm*420mm
工作臺移動:自動,行程160mm,精度0.01mm;上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm
進樣器移動:自動上下60mm(自動); 左右30mm
工業鏡頭:前后移動30mm(微調3mm),0.7X *-4.5X連續變倍變焦顯微鏡
CCD:高速工業級芯片; 鏡頭角度可調試:仰視、平視、俯視多視角觀察
光源:LED可調節藍色基調工業級冷光源;使用壽命達貳萬伍仟小時以上
電源及功率:220V / 60HZ
晶圓產品處理前WORD報告及測試圖片:我們對樣品進行十個點的測試,平均角度72.04度。
晶圓產品處理后WORD報告及測試圖片:我們對樣品進行十個點的測試后,再用等離子清洗機處理,平均角度16.58度。
標樣校檢報告:儀器檢驗信息
儀器名稱:
水滴角測量儀
檢驗時間:
2018.10.08
儀器型號:
PZ-500SD
晶圓接觸角測量儀應用:
1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性:包括靜態接觸角,動態接觸角(前進/后退接觸角),接觸角滯后性等;
2、液滴在固體表面的起始滑動角(或滾動角),滑動速度;(擴張功能)
3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為;
4、固體表面自由能,及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻;
5、液體在固體表面的粘結力(adhesion)、滯留力(retention)等;
6、固體表面在經過清洗、處理后的結果(效果)評估:如潔凈度(cleanliness),均勻性(homogeneity),和表面能改變幅度等;
7、液/流-體系的表面/界面張力:包括靜、動態表/界面張力的測量;
8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現場、在線、實時監測;
9、表面活性物質(如表面活性劑)臨界膠團溶度(CMC)的測量:包括全自動CMC測量,全自動有關配方的篩選和優化;
10、表面活性物質在界面的吸附、排列、取向、松弛等現象的研究;
11、液體界面的粘彈性和穩定性:如乳狀液/泡沫等體系的穩定性研究等等各種與液/流/固-體系相關的界面現象和過程的測量和分析等。
12、全自動檢測整體解決方案,可搭配至流水線上使用,提高檢測效率;
二·設備原理解析(Principle analysis)
規格:
前后移動 自動,行程160mm,精度0.01mm
上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm
(二)分析軟件:
(1)接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法(一鍵自動擬合,不存在人工誤差)包括:
圓法擬合(適用于低角度接觸角測量)
橢圓/斜橢圓擬合法(適用于高角度接觸角擬合)
LY(應用于120°以上高角度接觸角測量)
微分橢圓法/微分圓法(應用于不規則液滴形態接觸角的擬合)
潤濕性能測試(應用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試,批量處理)
視頻擬合(應用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試,視頻動態處理)
規格:
四·產品特點(Product features)